邁思德公司表示對于一些必須要在無塵室操作的微電子產(chǎn)品來說,無塵布的凈化等級是非常重要的,無塵室不僅要用無塵布,也要選擇相對應(yīng)凈化級別的無塵布。千級無塵室可以選擇千級或者優(yōu)于千級的無塵布。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗無塵車間質(zhì)量的核心標準,該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素分為若干等級,常用的有國際標準IS014644- 1。
邁思德10級無塵室采用單向流的氣流組織送風方式,即無塵室的氣流在同-截面的任意一點,氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使?jié)崈舻目諝庀瘛盎钊币粯?,將室?nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。